Nome del prodotto/nome inglese : carbonato di guanidina

CAS : 593-85-1

Formula molecolare : C ₂ H ₁₀ N ₆ H ₂ CO ₃

Formula strutturale :

Introduzione al prodotto:

Il carbonato di guanidina è una materia prima sintetica organica estremamente versatile e un reagente analitico, utilizzato principalmente come regolatore di pH, antiossidante, stabilizzatore di resina e sapone per resine amminiche. Viene anche utilizzato come additivo per boiacche cementizie e tensioattivi. Può anche essere utilizzato come agente resistente all'umidità e sinergico per detergenti, materie prime cosmetiche, ecc.

Campo di applicazione del carbonato di guanidina

Con lo sviluppo dello sviluppo del processo CMOS, la dimensione delle caratteristiche dei dispositivi si riduce gradualmente e la densità del circuito diventa più complessa, il che rende più difficile la progettazione e la produzione. La congestione del segnale nel processo di interconnessione si intensifica ulteriormente. Al fine di continuare la legge di Moore, risolvere il problema del ritardo dell'interconnessione in rame e soddisfare i requisiti di prestazioni, larghezza di banda e consumo energetico, la tecnologia di integrazione IC 3D si è gradualmente sviluppata. Impilando i chip verticalmente e passando attraverso i circuiti attivi per ottenere un'interconnessione efficiente, la lunghezza delle linee di interconnessione viene notevolmente ridotta, il che non solo migliora le prestazioni del circuito, ma riduce anche ulteriormente il consumo energetico. La tecnologia TSV utilizza un processo di lucidatura chimico-meccanica per rimuovere il rame metallico. L'integrazione del processo TSV deve affrontare una sfida comune, ovvero che la produzione di TSV richiede la penetrazione di diversi strati di materiale, inclusi materiali di silicio e vari strati di film sottili isolanti o conduttivi nei circuiti integrati. Al fine di migliorare l'economia della tecnologia di integrazione 3D, è necessario disporre di un elevato tasso di rimozione e di un appropriato rapporto di selezione della lucidatura nel processo di lucidatura chimico-meccanica. Attualmente, non sono segnalati prodotti commerciali per il fluido di lucidatura chimico-meccanico specializzato per la tecnologia TSV, in particolare per il fluido di lucidatura dello strato barriera TSV. Al fine di migliorare l'economia della tecnologia di integrazione 3D, è necessario disporre di un elevato tasso di rimozione e di un appropriato rapporto di selezione della lucidatura nel processo di lucidatura chimico-meccanica. Attualmente, non sono segnalati prodotti commerciali per il fluido di lucidatura chimico-meccanico specializzato per la tecnologia TSV, in particolare per il fluido di lucidatura dello strato barriera TSV. Al fine di migliorare l'economia della tecnologia di integrazione 3D, è necessario disporre di un elevato tasso di rimozione e di un appropriato rapporto di selezione della lucidatura nel processo di lucidatura chimico-meccanica. Attualmente, non sono segnalati prodotti commerciali per il fluido di lucidatura chimico-meccanico specializzato per la tecnologia TSV, in particolare per il fluido di lucidatura dello strato barriera TSV.

Il brevetto CN103834306B ha sviluppato un fluido di lucidatura chimico-meccanica per la planarizzazione a foro passante del silicio, che risolve il problema tecnico di soddisfare i requisiti di processo di selezionare un tasso di rimozione relativamente elevato di biossido di silicio su nitruro di silicio durante il processo di planarizzazione a foro passante del silicio, impedendo corrosione durante il processo di lucidatura del metallo e riducendo i difetti superficiali e gli inquinanti sul wafer lucidato.

Il fluido di lucidatura chimico-meccanico nel brevetto consiste principalmente di sei parti: abrasivi, composti di imidazolo, agenti complessanti, tensioattivi anionici, guanidina e ossidanti. Tra questi, il tensioattivo anionico è il tensioattivo alchil fosfato e la guanidina può essere uno o più nitrato di guanidina, solfato di guanidina, fosfato di guanidina, carbonato di guanidina, cloruro di guanidina, cloridrato di metformina e cloridrato di morossidina.

Riferimenti

CN103834306B Un fluido di lucidatura chimico-meccanico per l'appiattimento dei fori passanti in silicone .