Applicazione di Tricine |CAS:5704-04-1|nel campo dei wafer a semiconduttore

Applicazione di Tricine |CAS:5704-04-1|nel campo dei wafer a semiconduttore

2022-08-11

Tricine ( CAS: 5704-04-1 ) è un eccellente tampone anfotero. Il brevetto CN106085245B introduce una lucidatura chimica meccanica (CMP)

preparazione del rame , e i suoi componenti principali sono i seguenti:

Materiale particolato （ 0,001-0..25 % ） : materiale particolato selezionato tra silice fumata, silice colloidale, allumina fumata, allumina colloidale, ceria, titania, zirconia, polistirene, esteri di polimetilmetacrilato, mica, silicati di alluminio idrato e loro miscele .

Almeno due aminoacidi （ 0,01-16 % ） : aminoacidi selezionati indipendentemente da glicina, serina, lisina, glutammina, L-alanina, DL-alanina, beta-alanina, acido iminoacetico, asparagina, acido aspartico, valina, sarcosina, N-bis(idrossietile) glicina, tricina , prolina e loro miscele .

Agente ossidante ( 0,25-5 % ) : l'agente ossidante è selezionato tra perossido di idrogeno, dicromato di ammonio, perclorato di ammonio, persolfato di ammonio, perossido di benzoile, bromato, ipoclorito di calcio, solfato cerico, sale dell'acido cloridrico, triossido di cromo, triossido di ferro, cloruro ferrico , iodato, iodio, perclorato di magnesio, biossido di magnesio, nitrato, acido periodico, acido permanganico, bicromato di potassio, ferricianuro di potassio, permanganato di potassio, persolfato di potassio, bismuto di sodio, clorito di sodio, dicromato di sodio, nitrito di sodio, perborato di sodio, solfato, acido peracetico , urea-perossido di idrogeno, acido perclorico, diterziario Butilperossido, monopersolfato, dipersolfato e loro combinazioni .

Inibitore di corrosione (0,00001- 2% ): L'inibitore di corrosione è selezionato tra composti ciclici contenenti azoto e i composti ciclici contenenti azoto sono selezionati tra 1,2,3-triazolo, 1,2,4-triazolo, 5-metilbenzotriazolo, benzotriazolo, 1-idrossibenzotriazolo, 4- idrossibenzotriazolo, 4-ammino-4H-1,2,4-triazolo, benzimidazolo, 5-amminotriazolo, benzotiazolo, triazintiolo, triazinici ditioli e triazinici tritioli, isocianurati e loro combinazioni.

Riferimenti

CN106085245B

Lucidatura chimico-meccanica del rame a bassa infiammabilità.

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